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真空舱体 W400 mm × H600 mm × D625 mm (150 升) * 分层(多到16层) 电极-托盘 * 不锈钢舱体
* 40KHz 射频发生器 * 针孔电极 * 2气路，MFC * 电脑控制 (Windows) * 功率连续可调 0-2500W
* 自动阻抗匹配 * 电磁阀保护，回流油雾不能进入舱体 * 规格：W1000 mm×H2200 mm× D1000 mm
* 电源：AC 380V/50Hz
选装件
* 13.56 MHz 射频发生器 * 2.45 GHz 射频发生器 * 旋转圆筒舱体(适用于处理颗粒状样品)
详情参见配件选装指南
